Электрометр Keithley 6517B представляет из себя быстродействующий прецизионный малошумящий (уровень шумов 0,75 фАп-п) 6½ разрядный мультиметр, который предназначен для измерения малых токов с высоким разрешением (от 10 аА), высоких сопротивлений пета-и эксаомного (до 1018 Ом) диапазонов, напряжений от источников с высоким импедансом, зарядов, температуры и влажности; а также содержит встроенный источник питания на ±1 кВ.
Режим измерения тока
|
Диапазон |
Разрешение |
Точность (1 год) |
Темп. коэффициент |
|
20 пА |
10 аА |
1% + 3 фА |
0,1% + 500 аА |
|
200 пА |
100 аА |
1% + 5 фА |
0,1% + 1 фА |
|
2 нА |
1 фА |
0,2% + 300 фА |
0,1% + 20 фА |
|
20 нА |
10 фА |
0,2% + 500 фА |
0,03% + 100 фА |
|
200 нА |
100 фА |
0,2% + 5 пА |
0,03% + 1 пА |
|
2 мкА |
1 пА |
0,1% + 100 пА |
0,005% + 20 пА |
|
20 мкА |
10 пА |
0,1% + 500 пА |
0,005% + 100 пА |
|
200 мкА |
100 пА |
0,1% + 5 нА |
0,005% + 1 нА |
|
2 мА |
1 нА |
0,1% + 100 нА |
0,008% + 20 нА |
|
20 мА |
10 нА |
0,1% + 500 нА |
0,008% + 100 нА |
Режим измерения напряжения
|
Диапазон |
Разрешение |
Точность (1 год) |
Темп. коэффициент |
|
2 В |
1 мкВ |
0,025% + 40 мкВ |
0,003% + 20 мкВ |
|
20 В |
10 мкВ |
0,025% + 300 мкВ |
0,002% + 100 мкВ |
|
200 В |
100 мкВ |
0,06% + 3 мВ |
0,002% + 1 мВ |
Входной импеданс >200 ТОм
Режим измерения заряда
|
Диапазон |
Разрешение |
Точность (1 год) |
Темп. коэффициент |
|
2 нКл |
1 фКл |
0,4% + 5 |
0,04% + 3 |
|
20 нКл |
10 фКл |
0,4% + 5 |
0,04% + 1 |
|
200 нКл |
100 фКл |
0,4% + 5 |
0,04% + 1 |
|
2 мкКл |
1 пКл |
0,4% + 5 |
0,04% + 1 |
Режим измерения сопротивления (обычный метод)
|
Диапазон |
Разрешение |
Точность (1 год) |
Темп. коэффициент |
Источник напряж. |
Диапаз. тока |
|
2 МОм |
1 Ом |
0,125% + 10 Ом |
0,01% + 10 Ом |
40 В |
200 мкА |
|
20 МОм |
10 Ом |
0,125% + 100 Ом |
0,01% + 100 Ом |
40 В |
20 мкА |
|
200 МОм |
100 Ом |
0,15% + 1 кОм |
0,015% + 1 кОм |
40 В |
2 мкА |
|
2 ГОм |
1 кОм |
0,225% + 10 кОм |
0,035% + 10 кОм |
40 В |
200 нА |
|
20 ГОм |
10 кОм |
0,225% + 100 кОм |
0,035% + 100 кОм |
40 В |
20 нА |
|
200 ГОм |
100 кОм |
0,35% + 1 МОм |
0,110% + 1 МОм |
40 В |
2 нА |
|
2 ТОм |
1 МОм |
0,35% + 10 МОм |
0,110% + 10 МОм |
400 В |
2 нА |
|
20 ТОм |
10 МОм |
1,025% + 100 МОм |
0,105% + 100 МОм |
400 В |
200 пА |
|
200 ТОм |
100 МОм |
1,15% + 1 ГОм |
0,125% + 1 ГОм |
400 В |
20 пА |
Индикация сопротивлений (в ручном режиме выбора диапазонов) до 1018 Ом
Режим измерения сопротивления (дельта-метод)
до 1016 Ом.
Используется высокорезистивная камера Keithley 8009
Источник питания
|
Диапазон |
Разрешение |
Точность (1 год) |
Темп. коэффициент |
Макс. |
|
100 В |
5 мВ |
0,15% + 10 мВ |
0,005% + 1 мВ |
± 10 мА |
|
1000 В |
50 мВ |
0,15% + 100 мВ |
0,005% + 10 мВ |
± 1 мА |
Время установления: <8 мс (для диапазона 100 В), <50 мс (для диапазона 1000 В)
Уровень шума (0,1 Гц…10 Гц): <2,6 мВскз (для диапазона 100 В), <2,9 мВскз (для диапазона 1000 В)
Режим измерения температуры (не включая погрешность термопары)
|
Термопара |
Диапазон измерения |
Точность (1 год) |
|
К - типа |
-25 °С…150 °С |
±(0,3% + 1,5 °С) |
Режим измерения влажности (не включая погрешность датчика влажности)
|
Диапазон измерения |
Точность (1 год) |
|
0…100% |
±(0,3% + 0,5%RH) |
· Разрешение дисплея: 6½ разряда
· Дисплей: вакуумно-флюорисцентный
· Выбор диапазонов: автоматический или ручной
· Возможность многоканального тестирования (до 10 каналов) со сканерными платами
по току 6521 (30 В/500 мА/10 ВА)
по току и напряжению 6522 (200 В/500 мА/10 ВА)
· Максимальное напряжение на входе: 250 Впик
· Аналоговый выход: 2 В на полной шкале и выход предусилителя с возможностью записи на ленточный самописец
· Скорость считывания: 425 измер./с (во внутренний буфер), 400 измер./с (в IEEE-488), 3300 измер./с (по шине)
· Память: до 50000 сохранений
· Цифровой фильтр: медианный и усредняющий
· Интерфейс: RS-232, IEEE-488, Trigger Link, Digital I/O
· Потребляемая мощность: 100 ВА
· Питание 100 / 120 / 220 / 240 В ± 10%, 50 / 60 Гц
· Размеры 90х214х369 мм
· Вес 5,4 кг